高速X射线管球的搭载，实现了高精度的测定。而且配合极微小准直器和光学变焦镜头可以实现极微小部分的测定。更可以对有高低平面差异的样品进行测定。
| 型号 | FT9300 | FT9350 | FT9355 |
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| 测量元素 |
原子序号Ti（22）～Bi（83） 原子序号21以下的元素可通过吸收法测量 |
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| X射线源 |
空冷式小型X射线管 管电压：50（可变更）kV 管电流： 10～1000 µA |
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| 检测器 | 比例计数管 | ||
| 准直器 |
○型： 0.05, 0.1, 0.2 mmΦ □型： 0.025 x 0.2, 0.2 x 0.025 mm |
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| 样品观察 | CCD摄像头+变焦光学系统 | ||
| X射线聚光 | 激光对焦 | ||
| 滤波器 |
一次滤波器： Mo－自动切换 二次滤波器： Co－自动切换 |
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| 样品区域 |
X:240 mm, Y:170 mm X:220 mm, Y:150 mm, Z:150 mm |
X:430 mm, Y:330 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:50 mm |
X:700 mm, Y:600 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:15 mm |
| 测量软件 | 薄膜FP法（最大5层、10种元素）、检量线法、块体FP法（材料组成分析） | ||
| 安全功能 | 样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能 | ||
