是利用荧光X射线原理的镀膜厚度测量计。是一个本公司膜厚仪FT系列的标准机型。有适用线路板用的FT9250、有适用大型线路板用的FT9255、可以对应广泛的应用程序。
| 型号 | FT9250 | FT9255 |
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| 测量元素 |
原子序号Ti（22）～Bi（83） 原子序号21以下的元素可通过吸收法测量 |
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| X射线源 |
空冷式小型X射线管 管电压：50（可变更）kV 管电流： 10～1000 µA |
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| 检测器 | 比例计数管 | |
| 准直器 |
○型：0.05, 0.1, 0.2 mmΦ □型：0.025 × 0.2, 0.2 × 0.025 mm |
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| 样品观察 | CCD摄像头+变焦光学系统 | |
| X射线聚光 | 激光对焦 | |
| 滤波器 | Co－自动切换 | |
| 样品区域 |
X:430 mm, Y:330 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:50 mm |
X:700 mm, Y:600 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:15 mm |
| 测量软件 | 薄膜FP法（最大5层、10种元素）、检量线法 | |
| 安全功能 | 样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能选购项 | |
